歡迎光臨深圳九州工業(yè)品有限公司！
咨詢(xún)電話(huà)
15766191432
15766191432
products
產(chǎn)品分類(lèi)
更新時(shí)間：2024-09-05 
瀏覽次數(shù)：386用于氣相分解的VPDBOX的技術(shù)參數(shù)
VPD BOX特點(diǎn)
●該設(shè)備利用氫氟酸自然汽化，在氣相狀態(tài)下分解硅片上的氧化膜和氮化膜，使硅片表面疏水化。
●與酸性液體、酸性氣氛接觸的部件采用PTFE、PVDF。
●請(qǐng)與半自動(dòng)收集裝置SC系列配合使用。
規(guī)格參數(shù)
| 裝置名 | VPDBOX-200-1M | VPDBOX-300-1M |
| 最大處理張數(shù) | 1 件 | 1 件 |
| 外形(W×D×H)(mm)(※1) | 290×290×250 | 390×390×250 |
| 重量 | 6公斤 | 8公斤 |
| 使用場(chǎng)所 | 干凈的草案里面 | 干凈的草案里面 |
| 外部資源 | N2氣（用于酸性氣氛吹掃） | N2氣（用于酸性氣氛吹掃） |
您的位置：
在線咨詢(xún)
返回頂部