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更新時(shí)間：2023-10-19 
瀏覽次數(shù)：289長壽命 500,000 至 100 萬次循環(huán)
價(jià)格低廉 可以以較低的價(jià)格實(shí)現(xiàn)自動(dòng)壓力控制。
高性能 采用高性能伺服電機(jī)和新型驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)
高功能性 可實(shí)現(xiàn)全閉環(huán)、多級(jí)位置控制、自動(dòng)壓力控制。
您可以選擇電機(jī)位置。(4個(gè)位置)
MBV-LDⅡ-M4- R
MBV-LDⅡ-M4- L
MBV-LDⅡ-M4- F
MBV-LDⅡ-M4- B
可通過一臺(tái)裝置進(jìn)行全封閉和電導(dǎo)調(diào)節(jié)，還可進(jìn)行最小電導(dǎo)控制。
可以從壓差狀態(tài)（真空至大氣壓）開啟。
使用高精度齒輪箱可實(shí)現(xiàn)出色的位置精度重復(fù)性。
除全關(guān)、全開外，還可停在最多13個(gè)位置的任意位置。
使用可選的伺服支持軟件可以輕松進(jìn)行定位設(shè)置。
通過添加可選的雙自動(dòng)壓力控制系統(tǒng)控制器進(jìn)行控制，也可用作自動(dòng)壓力控制閥。
可以使用角度指示器從外部確認(rèn)閥體的位置。
通過選擇電機(jī)位置，可以靈活適應(yīng)各種布局，并且可以有效利用安裝的排氣系統(tǒng)的空間。
標(biāo)準(zhǔn)配備用于全關(guān)閉位置檢測的光電傳感器
帶制動(dòng)器的電機(jī)規(guī)格也可作為選件提供。（型號(hào)：MBV-LDⅡ-M4Br-ARJ）
| 法蘭型 | JIS/ISO/CF/NW |
|---|---|
| 泄漏量 | 1×10 -9 Pa?m 3 /s以下 |
| 使用面積 | 10 5 ~ 10 -6帕 |
| 盤式密封 | 氟橡膠 O 形圈 |
| 軸封 | Viton O 型圈 2 級(jí) |
| 口徑 | 25A~300A |
|---|---|
| 電源規(guī)格 | 主電源 AC200V（額定電流 1.5A） 控制電源 AC200V（額定電流 0.2A） 接口電源 DC24V（最大 500mA） |
| 控制方式 | 交流伺服方式 |
| 氣體接觸材料 | SUS304 |
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